微電子電路精密蝕刻與清洗
四甲氧基氫氧化銨Tetramethoxy-ammonium hydroxide
雙氧水hydrogen peroxide
氨水a(chǎn)mmonium hydroxide
氟化氫銨ammonium bifluoride
氟化銨ammonium fluoride
磷酸phosphoric acid
一水檸檬酸citric acid monohydrate
硫酸亞鐵ferrous sulfate
硫酸銅copper sulfate
氫氧化鉀potassium hydroxide
氫氧化鈉sodium hydroxide
重鉻酸鉀potassium dichromate
乙二胺四乙酸二鈉EDTA2Na
異丙醇Electronic grade IPA
無水乙醇absolute ethyl alcohol
三氯乙烯trichloro ethylene
醋酸丁酯butyl acetate
醋酸乙酯acetic ether
稀釋劑Thinner
N-甲基吡咯烷酮NMP
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